魯工信電子〔2021〕146號

各市工業(yè)和信息化局、發(fā)展改革委、科技局、財政局：

現(xiàn)將《山東省推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃（2021-2023年）》印發(fā)給你們，請結(jié)合實際，認真抓好組織實施。

附件：山東省推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃（2021-2023年）

山東省工業(yè)和信息化廳

山東省發(fā)展和改革委員會

山東省科技廳

山東省財政廳

2021年 7 月 9 日

山東省推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計劃（2021-2023年）

傳感器技術(shù)是決定未來信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心與基礎(chǔ)之一，與通信技術(shù)、計算機技術(shù)并稱為新一代信息技術(shù)的三個重要組成部分。隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計算等技術(shù)的迅猛發(fā)展，以萬物互聯(lián)、萬物智能為特征的新一輪技術(shù)革命已經(jīng)到來，作為與外界環(huán)境交互的重要手段和感知信息的主要來源，智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展迎來巨大的歷史機遇。為全面提升智能傳感器產(chǎn)業(yè)核心競爭力，推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展，保障信息安全，結(jié)合我省實際，制定本行動計劃。

一、發(fā)展現(xiàn)狀

從全球看，當前智能傳感技術(shù)創(chuàng)新勢頭迅猛，基于新材料、新原理、新工藝、新應(yīng)用的產(chǎn)品不斷涌現(xiàn)，全球產(chǎn)品化的傳感器大約有2.6萬種。敏感材料、MEMS芯片、驅(qū)動程序和應(yīng)用軟件等智能傳感器核心技術(shù)的不斷進步，促進了智能傳感器的快速發(fā)展和應(yīng)用。世界主要工業(yè)強國均已在智能傳感領(lǐng)域謀篇布局，歐洲、美國、日本等已具有良好的技術(shù)基礎(chǔ)，產(chǎn)業(yè)上下游配套成熟，幾乎壟斷了“高、精、尖”智能傳感器市場，并呈現(xiàn)高速增長態(tài)勢。

從全國看，我國智能傳感器市場空間廣闊，創(chuàng)新能力不斷增強，已形成涵蓋芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、軟件與數(shù)據(jù)處理算法、應(yīng)用等環(huán)節(jié)的完整產(chǎn)業(yè)鏈，已初步形成了長三角、珠三角、京津冀以及中西部重點城市集聚發(fā)展的產(chǎn)業(yè)空間格局，產(chǎn)品有效供給、技術(shù)創(chuàng)新能力、產(chǎn)業(yè)生態(tài)等將進一步實現(xiàn)突破，向著智能化、網(wǎng)絡(luò)化、集成化的方向加速發(fā)展。

從省內(nèi)看，我省傳感器產(chǎn)業(yè)經(jīng)過近些年的發(fā)展打下了良好基礎(chǔ)，極具發(fā)展?jié)摿Γ瑩碛兄悄軅鞲衅髌髽I(yè)70余家，2020年實現(xiàn)主營業(yè)務(wù)收入109.1億元，在聲學(xué)、壓力和非制冷紅外傳感器等領(lǐng)域具有比較突出的行業(yè)地位和競爭力。聲學(xué)傳感器出貨量居全球第一位，市場占有率超過40%，壓力傳感器在消費類領(lǐng)域市場占有率居全球第三位，高端非制冷紅外成像核心芯片填補國內(nèi)空白。但是，由于我省智能傳感器產(chǎn)業(yè)起步較晚，和國內(nèi)先進水平相比還有一定差距，目前正處于由傳統(tǒng)型向智能型發(fā)展的關(guān)鍵階段，在部分領(lǐng)域快速發(fā)展的同時，仍面臨著頂層規(guī)劃缺失、技術(shù)創(chuàng)新能力不強、市場競爭力不足、產(chǎn)業(yè)生態(tài)不健全等問題。

二、總體要求

（一）指導(dǎo)思想

以習(xí)近平新時代中國特色社會主義思想為指導(dǎo)，全面貫徹落實習(xí)近平總書記視察山東重要講話、重要指示批示精神，按照“緊盯前沿、延鏈謀劃，龍頭牽引、培育壯大，打造生態(tài)、集群發(fā)展”的思路，聚焦消費電子、汽車電子、工業(yè)控制、醫(yī)療電子、航空航天、人工智能、智能家電等重點行業(yè)領(lǐng)域，開展智能傳感器核心技術(shù)攻關(guān)，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同發(fā)展，提升智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈整體競爭力，為推動全省新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，培育壯大現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系提供堅實支撐。

（二）發(fā)展目標

經(jīng)過三年發(fā)展，我省智能傳感器產(chǎn)業(yè)取得明顯突破，創(chuàng)新能力和技術(shù)水平走在全國前列，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化，供給能力有效提高，產(chǎn)業(yè)競爭能力達到國內(nèi)一流。

——產(chǎn)業(yè)規(guī)模快速壯大。到2023年，智能傳感器主營業(yè)務(wù)收入達到300億元。緊抓物聯(lián)網(wǎng)快速發(fā)展、智能傳感器市場爆發(fā)增長、技術(shù)創(chuàng)新高度活躍的戰(zhàn)略機遇期，做大做強一批智能傳感器設(shè)計、制造、封測和系統(tǒng)集成的龍頭骨干企業(yè)，帶動形成千億級產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

——產(chǎn)業(yè)鏈條持續(xù)完善。關(guān)鍵環(huán)節(jié)配套水平不斷提升，產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展能力日益增強，努力打造國內(nèi)一流、具有國際競爭力的產(chǎn)業(yè)集群，基本形成結(jié)構(gòu)合理、生態(tài)完善 的智能傳感器產(chǎn)業(yè)體系。

——產(chǎn)業(yè)布局不斷優(yōu)化。引導(dǎo)智能傳感器產(chǎn)業(yè)開展合理布局和資源整合，智能傳感器產(chǎn)業(yè)布局逐漸完善，依托重點項目建設(shè)，推動產(chǎn)業(yè)鏈向高端延伸。

——創(chuàng)新能力顯著增強。一批智能傳感器核心技術(shù)得到突破，行業(yè)總體創(chuàng)新投入進一步提升，實現(xiàn)智能傳感器及微系統(tǒng)模組的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。協(xié)同創(chuàng)新能力進一步增強，創(chuàng)建、培育一批院士工作站、制造業(yè)創(chuàng)新中心、技術(shù)研發(fā)中心等創(chuàng)新載體。

三、產(chǎn)業(yè)布局

依托各市產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，發(fā)揮國家集成電路設(shè)計濟南產(chǎn)業(yè)化基地、青島嶗山微電子產(chǎn)業(yè)園、中德生態(tài)園集成電路產(chǎn)業(yè)基地、淄博電子信息產(chǎn)業(yè)園、煙臺光電傳感產(chǎn)業(yè)園、濰坊聲學(xué)光電產(chǎn)業(yè)集群等集聚優(yōu)勢，加大龍頭企業(yè)支持力度，積極發(fā)展芯片設(shè)計、封裝測試、算法開發(fā)、系統(tǒng)集成等領(lǐng)域，大力支持聲學(xué)、壓力、氣體、溫度、紅外、生物醫(yī)學(xué)等傳感器突破發(fā)展。重點建設(shè)青島聲學(xué)智能傳感谷和煙臺光電智能傳感產(chǎn)業(yè)基地。

青島。打造國內(nèi)領(lǐng)先的聲學(xué)智能傳感谷。依托微電子研究院，集聚全球研發(fā)人才，推動建設(shè)總部級研發(fā)中心，圍繞材料、芯片、器件、算法、智能裝備及先進封裝等展開技術(shù)攻關(guān)，重點聚焦智能家電、消費電子領(lǐng)域龍頭企業(yè)供應(yīng)鏈建設(shè)，加快提升智能傳感器領(lǐng)域設(shè)計、制造、封測能力。圍繞培育智能傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)，瞄準國際國內(nèi)領(lǐng)先水準，以嶗山區(qū)、城陽區(qū)為核心區(qū)域，以西海岸新區(qū)、即墨區(qū)、膠州市為支撐，高起點、高標準推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚、鏈式、協(xié)同發(fā)展。

煙臺。打造光電智能傳感產(chǎn)業(yè)基地，建設(shè)微納制造制造業(yè)創(chuàng)新中心。支持煙臺聚焦紅外傳感器、MEMS傳感器、氣體傳感器、半導(dǎo)體激光器、太赫茲探測器、微波器件等重點領(lǐng)域，高標準建設(shè)光電傳感研究院，培育涵蓋集成電路設(shè)計、材料、封測、裝備研制及應(yīng)用為一體的完整產(chǎn)業(yè)鏈和產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)，建成面向全國的智能傳感器公共服務(wù)平臺，為研究院所、企業(yè)提供研發(fā)和中試服務(wù)。支持重點企業(yè)開拓氣體傳感、慣性傳感、水質(zhì)傳感 等領(lǐng)域新的技術(shù)及應(yīng)用，放大帶動效應(yīng)，建設(shè)較為完整的傳感器產(chǎn)業(yè)集群。

濟南。依托重點企業(yè)智能傳感器封測技術(shù)基礎(chǔ)，提升MEMS傳感器及模組封裝技術(shù)，形成規(guī)模化封裝測試代工能力。積極引進智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈上下游配套企業(yè)，推動由智能傳感器封裝向模組、設(shè)備、系統(tǒng)和解決方案等產(chǎn)業(yè)延伸，形成以MEMS傳感器封測為特色的產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)。

淄博。依托重點企業(yè)和傳感器研究院，落實“高端引領(lǐng)、深化應(yīng)用、鑄建鏈群”的思路措施，建設(shè)集MEMS芯片設(shè)計研發(fā)、工藝加工、封裝測試、產(chǎn)品應(yīng)用和配套服務(wù)等為一體的綜合性研發(fā)產(chǎn)業(yè)基地。加快推進基于MEMS微加工技術(shù)的壓電陶瓷揚聲器、壓電陶瓷噴墨頭、編碼器等項目的產(chǎn)業(yè)化。

濰坊。依托重點企業(yè)聲學(xué)傳感器研發(fā)、生產(chǎn)技術(shù)，結(jié)合現(xiàn)有發(fā)展優(yōu)勢，發(fā)展智能穿戴設(shè)備、人機交互控制終端、觸摸屏控制系統(tǒng)、微型揚聲器模組，打造國家級聲學(xué)產(chǎn)業(yè)基地。

威海。推動培育智能器件封測等項目，重點建設(shè)智能傳感器封測生產(chǎn)線。提升完善國家級研究中心、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)園等創(chuàng)新載體，逐步構(gòu)建高校、科研機構(gòu)、企業(yè)共同參與的傳感器產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新體系。

其他市。依托本地產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)和特色，突出差異化發(fā)展，重點在智能傳感器材料、應(yīng)用等領(lǐng)域開展布局,逐步做大產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

四、重點任務(wù)

（一）提升設(shè)計、制造、封測能力，推進智能傳感器向高端升級

1﹒推進智能傳感器芯片設(shè)計。加強對智能傳感器核心芯片，特別是基于MEMS工藝的芯片、ASIC芯片以及應(yīng)用配套的算法和驅(qū)動程序等技術(shù)的自主研發(fā)，強化前沿技術(shù)戰(zhàn)略布局。鼓勵龍頭企業(yè)加大芯片方面的研發(fā)投入及力度，有效打破技術(shù)壁壘，增強企業(yè)核心競爭力，提升智能傳感器芯片國產(chǎn)化率。

2﹒推進智能傳感器芯片制造。在符合國家集成電路政策要求下，重點推進智能傳感器芯片生產(chǎn)制造，滿足市場需求的快速增長。圍繞工業(yè)、交通、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療等智能化領(lǐng)域或場景，開展相關(guān)智能傳感器的生產(chǎn)制造。重點發(fā)展特色工藝，補齊產(chǎn)業(yè)短板，著力突破硅基MEMS加工技術(shù)、MEMS與互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）集成、非硅模塊化集成、砷化鎵基激光傳感芯片等工藝技術(shù)，持續(xù)提升工藝的一致性、穩(wěn)定性。

3﹒推進智能傳感器封裝測試。持續(xù)攻關(guān)倒裝互連、硅通孔互連、銅-銅互連等高密度互連技術(shù)，開發(fā)晶圓級芯片尺寸封裝、晶圓扇出型封裝、多種形式的2.5D/3D封裝以及異質(zhì)封裝等先進封裝技術(shù)，推動先進封裝技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

（二）補齊配套環(huán)節(jié)短板，強化材料、工藝、裝備支撐

4﹒強化關(guān)鍵基礎(chǔ)材料支撐。發(fā)揮資源優(yōu)勢，大力發(fā)展氮化鋁、壓電陶瓷等敏感材料，支持骨干企業(yè)研發(fā)無鉛壓電陶瓷材料制備技術(shù)，實現(xiàn)高性能、高穩(wěn)定性、高可靠性以及可批量生產(chǎn)；研發(fā)用于氣體傳感器的超高靈敏度、超低功耗的石墨烯、氧化鋯材料；研發(fā)具有巨磁阻效應(yīng)的納米級多層膜結(jié)構(gòu)的磁材料。積極引進國內(nèi)重點基礎(chǔ)材料企業(yè)，穩(wěn)步提升關(guān)鍵基礎(chǔ)材料供應(yīng)能力。

5﹒強化先進工藝技術(shù)支撐。依托龍頭骨干企業(yè)，研發(fā)堆迭式差分MEMS芯片技術(shù)、多傳感器集成的超小尺寸封裝技術(shù)、超薄芯片的減薄及切割技術(shù)、超細間距倒裝鍵合技術(shù)、高密度SMT工藝、電磁屏蔽技術(shù)以及封裝天線工藝等新型傳感器設(shè)計制造工藝、集成創(chuàng)新與智能化技術(shù)，持續(xù)提升原創(chuàng)性研發(fā)能力。

6﹒強化傳感器智能裝備支撐。研發(fā)用于傳感器封裝、測試、視覺檢測等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的專用設(shè)備，積極引進國內(nèi)領(lǐng)先的裝備研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)，增強設(shè)備的國產(chǎn)替代能力。

（三）面向重點領(lǐng)域，開展應(yīng)用示范

7﹒打造智能傳感器推廣示范工程。以應(yīng)用需求為導(dǎo)向，推進智能傳感器在汽車電子、消費電子、智慧海洋、工業(yè)控制、醫(yī)療電子等重點應(yīng)用領(lǐng)域及工業(yè)生產(chǎn)流程中的應(yīng)用及融合，通過智能傳感器進行數(shù)據(jù)分析、采集、利用，打造智能化生產(chǎn)線，以示范帶動應(yīng)用，提升產(chǎn)業(yè)化水平。

（四）提升公共服務(wù)能力，推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展

8﹒構(gòu)建多層次協(xié)同創(chuàng)新體系。加強智能傳感器產(chǎn)業(yè)研究院建設(shè)，深化企業(yè)、高等院校及科研院所合作，加大關(guān)鍵共性技術(shù)、前沿引領(lǐng)技術(shù)、現(xiàn)代工程技術(shù)、顛覆性技術(shù)研發(fā)力度，搭建產(chǎn)學(xué)研用緊密結(jié)合的協(xié)同創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化平臺。推動我省智能傳感器生產(chǎn)企業(yè)、高校、科研院所等成立智能傳感器產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟，推動協(xié)同創(chuàng)新。

9﹒強化公共服務(wù)平臺建設(shè)。鼓勵行業(yè)組織、產(chǎn)業(yè)園區(qū)、科研院所、龍頭企業(yè)等建設(shè)傳感器技術(shù)相關(guān)公共服務(wù)平臺，重點支持建設(shè)覆蓋智能傳感器設(shè)計、制造、封裝、測試、標準等公共服務(wù)平臺，形成資源共享、優(yōu)勢互補的公共支撐服務(wù)體系。

10﹒鼓勵產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同發(fā)展。支持智能傳感器設(shè)計企業(yè)與制造、封測企業(yè)等建立緊密合作關(guān)系，加快新設(shè)計、新工藝導(dǎo)入，縮短產(chǎn)品化周期，促進產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)資源共享和優(yōu)勢互補，探索和完善多方協(xié)作、互利共贏的新型商業(yè)模式，推動產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同升級和產(chǎn)業(yè)生態(tài)完善。

（五）引進、培育龍頭骨干企業(yè)，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實支撐

11﹒加快培育創(chuàng)新型領(lǐng)軍企業(yè)。選擇一批優(yōu)勢明顯、成長性好的重點企業(yè)，以項目承接、服務(wù)采購、資本運作、戰(zhàn)略合作和品牌塑造等方式，加快培育成具有競爭力的創(chuàng)新型龍頭企業(yè)。支持龍頭企業(yè)在MEMS傳感器及微系統(tǒng)、聲學(xué)傳感器、能源傳感器、薄膜壓力傳感器、溫濕度傳感器等方面突破一批核心關(guān)鍵技術(shù)，引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。

12﹒分類培育創(chuàng)新型中小企業(yè)。針對智能傳感器材料裝備、設(shè)計、制造、封裝、測試、終端集成等細分領(lǐng)域企業(yè)，以聯(lián)盟合作、風(fēng)險投資、規(guī)劃咨詢等形式，支持創(chuàng)新型企業(yè)孵化，降低企業(yè)研發(fā)和運行成本，形成融通發(fā)展的良好局面。

13﹒重點引進創(chuàng)新型優(yōu)勢企業(yè)。積極開展重大項目招商，重點引進一批擁有技術(shù)優(yōu)勢、品牌優(yōu)勢和市場優(yōu)勢的國內(nèi)外知名物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新型企業(yè)，通過戰(zhàn)略重組、技術(shù)轉(zhuǎn)讓和協(xié)作配套等方式與上下游企業(yè)建立緊密合作關(guān)系。鼓勵各市強化雙招雙引，針對智能傳感器產(chǎn)業(yè)鏈重點領(lǐng)域、關(guān)鍵節(jié)點，著重補齊補強，精準實施強鏈補鏈項目，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)突破發(fā)展。

五、保障措施

（一）完善工作機制。省工業(yè)和信息化廳會同省發(fā)展改革委、省科技廳等部門做好行動計劃的組織實施和監(jiān)督評估等工作，各有關(guān)部門按照職責(zé)分工，采取切實有效的政策措施，抓好重點任務(wù)落實。各市要結(jié)合本地實際，抓緊制定與行動計劃相銜接的實施方案，落實相關(guān)配套政策。相關(guān)行業(yè)組織要充分發(fā)揮橋梁和紐帶作用，協(xié)同推動行動計劃的貫徹落實。有關(guān)部門、各地方、相關(guān)行業(yè)組織要加強智能傳感器經(jīng)驗?zāi)Ｊ娇偨Y(jié)和宣傳推廣。

（二）優(yōu)化資源配置。充分發(fā)揮財稅政策的激勵作用，進一步加大對智能傳感器產(chǎn)業(yè)扶持力度。重點支持一批應(yīng)用市場廣、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)好、易于快速產(chǎn)業(yè)化的智能傳感器項目，對高端芯片產(chǎn)前首輪流片費用給予補貼，對承擔(dān)技術(shù)含量高的封裝測試公共服務(wù)平臺給予獎勵。培育智能傳感與控制首臺（套）技術(shù)裝備，運用保險補償?shù)日撸苿觿?chuàng)新產(chǎn)品進入重點產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)體系。加強產(chǎn)融合作，鼓勵社會資本通過多種方式進入智能傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，引導(dǎo)智能傳感器產(chǎn)業(yè)與金融資本深度合作，在銀行信貸、發(fā)行債券、股權(quán)融資等方面為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供資本支持，形成財政資金、金融資本、社會資金多方投入的新格局。

（三）集聚發(fā)展合力。強化規(guī)劃引領(lǐng)作用，引導(dǎo)各類政策向智能傳感器領(lǐng)域傾斜，營造具有比較優(yōu)勢的產(chǎn)業(yè)政策發(fā)展環(huán)境。成立智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展專家咨詢委員會，強化產(chǎn)業(yè)協(xié)作，形成發(fā)展合力。支持高等院校、科研院所、行業(yè)協(xié)會等加強與智能傳感器企業(yè)間的產(chǎn)學(xué)研深度合作，促進科技成果產(chǎn)業(yè)化。鼓勵智能傳感器企業(yè)聯(lián)合高校、科研院所等機構(gòu)，制定行業(yè)標準，掌握市場話語權(quán)。

（四）強化人才供給。持續(xù)優(yōu)化人才環(huán)境，依托泰山學(xué)者、泰山產(chǎn)業(yè)領(lǐng)軍人才、引進頂尖人才“一事一議”等人才工程，積極引進海外領(lǐng)軍人才和高端技術(shù)人才，支持相關(guān)技術(shù)中心、孵化創(chuàng)業(yè)中心、博士后工作站等建設(shè)，為高端人才集聚提供載體。鼓勵高等院校、科研機構(gòu)根據(jù)需求和自身特色，聯(lián)合公共服務(wù)平臺和企業(yè)，建設(shè)跨學(xué)科的智能傳感器綜合人才培養(yǎng)基地，為企業(yè)輸送高層次工藝人才和技術(shù)創(chuàng)新人才。鼓勵示范性微電子學(xué)院人才培養(yǎng)向智能傳感器方向傾斜。